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赛默飞扫描电镜(原FEI)发展历史

发布时间:2022-11-06
【编者按】赛默飞世尔科技(以下简称赛默飞)是全球领先的科学仪器、试剂和服务供应商之一,致力于为客户提供领先的创新技术、便捷采购方案和全方位服务...

赛默飞世尔科技(以下简称“赛默飞”)是全球领先的科学仪器、试剂和服务供应商之一,致力于为客户提供领先的创新技术、便捷采购方案和全方位服务。全球员工超过13万人,年销售额约400亿美元。

赛默飞始终致力于推动科学仪器发展。在全球战略的引领下,赛默飞于2016年完成了对FEI扫描电镜产线的收购,以提升公司产品组合的竞争力。并且,赛默飞充分利用自身的全球规模和商业化模式,使得FEI电镜产品在广大的客户群体中得到推广,对推进电镜技术在生物、材料等领域的应用发展意义重大。

赛默飞一向注重技术创新,在完成FEI电镜业务的收购之后,赛默飞对电子光学、精密机械、电子电路、软件和真空系统等关键技术进行了整合。对扫描电镜进行了技术升级,在产品类型上,推陈出新,引领全球扫描电镜的发展潮流,进一步巩固了作为全球扫描电镜领域领跑者的地位。

赛默飞扫描电子显微镜(原FEI )

自20世纪30年代电子显微镜面世以来,SEM扫描电镜已成为诸多行业科研及生产工作中的必备工具,其应用范围覆盖材料科学、基础科研、工业生产等各个领域。在涉及样品表面或近表面区域的形貌、成分和结构信息的工作中,SEM扫描电镜就是技术人员提升工作效率、攻克项目难题的得力助手。

赛默飞扫描电镜具有高度的灵活性和智能的操作系统,配置完善,包含多种检测器、附件,可以满足广泛的研究和工业检测需求。无论检测的样品是何种尺寸、重量,导电性如何,赛默飞扫描电镜都可以帮助实验人员轻松应对挑战,快速获得出色的图像和分析结果。

赛默扫描电子显微镜发展历程

当我们谈到赛默飞电镜,就不得不提及飞利浦和FEI。

最初的FEI公司由L.W. Swanson博士, N.A. Martin先生,L. Swenson先生和J. Orloff博士于1971年创建。1997年,FEI公司与荷兰皇家飞利浦公司电子光学部合并。2016年,赛默飞世尔科技收购原FEI电镜,成立赛默飞材料与结构分析(MSD) 电镜事业部。接下来给大家介绍一下关于飞利浦和FEI的故事。

飞利浦电子光学发展历程

·1949年 Philips Electron Optics(飞利浦电子光学)成立,发布了全球第一台商用TEM。

·1958年 飞利浦电子光学推出的EM200突破了10Å的TEM分辨率。

·1966年 飞利浦电子光学交付固态分辨率5Å的TEM。

·1975年 飞利浦电子光学推出EM400 TEM,成为现代透射电镜发展的基础。

·1977年 飞利浦电子光学发布全球第一台场发射TEM。出台高分辨率SEM。

·1986年 飞利浦电子光学推出计算机控制TEM系统。

·1990年 飞利浦电子光学发布全球第一台PC控制的扫描电镜XL系列。

·1996年飞利浦电子光学收购ElectroScan及环境扫描电镜(ESEM)技术。飞利浦电子光学收购位于捷克共和国布尔诺的Delmi公司。

FEI发展历程

·1971年 FEI成立,主要生产聚焦离子束产品,并致力于提供用于场发射电子枪的高纯度、定向单晶体材料。

·1981年 FEI研制出液体金属离子源(LMI)。

·1982年 FEI第一个LMI聚焦离子束镜筒交付使用。

·1983年 FEI第一个静电场聚焦离子束镜筒交付使用。Micrion成立,它专注于研制用于光罩修补的离子束系统。

·1985年 Micrion第一台聚焦离子束系统交付使用。

·1989年 ElectroScan推出全球第一台环境扫描电镜(ESEM)。FEI第一台完整的聚焦离子束(FIB)工作站交付使用。

·1993年 交付一体化集成TecnaiTM TEM。FEI同飞利浦电子光学联合发布第一台双束DualBeamTM(FIB/SEM)工作站。

·1996年 FEI交付第5000只LMI源。

强强联合,领衔世界

·1997年 FEI与飞利浦电子光学合并为现今的FEI公司。交付第一台嵌入式晶圆制程DualBeamTM系统。

·1998年 发布PC控制的一体化集成TEM(TecnaiTM)。推出全球第一台应用于自动缺陷分析检测的DualBeamTM。

·1999年 FEI兼并Micrion(聚焦离子束产品)。

·2000年 推出第一台小样品DualBeamTM系统。

· 2001年 推出实验室专用DualBeamTM系统。发布第一台配有单色器的TEM。

·2004年 使用配有单色器和球差矫正器的透射电镜200KV TecnaiTM,突破了透射电镜分辨率1Å的极限。

·2005年 推出全球功能最强大的商用透射电镜TitanTM 80-300KV(S/TEM),其分辨率可达亚埃级。

·2006年 第一台美国能源部专用带像差矫正透射电镜(TEAM)交付,分辨率达到0.5Å。

·2008年 发布一款极高分辨率的扫描电镜Magellan XHR,其在低束流(低射束能量)模式下可达亚纳米级分辨率。

·2016年 赛默飞世尔科技收购原FEI电镜,成立赛默飞材料与结构分析(MSD) 电镜事业部,是显微镜和微量分析解决方案的创新者和供应商。

赋能科技,开创未来

赛默飞扫描电镜作为赋能科技进步的全球领导者,始终致力于把全球领先的科学技术与创新成果融入到本土化的实践中,进一步加强本土人才培养与产业生态建设的同时,依托自身的全球化能力,赋能更多本土合作伙伴走向全球,携手全社会共同建设一个更健康、更清洁和更安全的中国。

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